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美国INFICON真空接头 熹光发布
美国INFICON真空接头是工业级真空系统中的关键连接组件,广泛应用于半导体制造、光学镀膜、太阳能电池、科研实验及航空航天等高精度领域。INFICON作为真空技术供应商,其接头产品以高密封性、低泄漏率和严格遵循国际标准著称,适用于从粗真空到超高真空的多种工况环境。
核心产品系列与技术规格
INFICON真空接头主要分为ISO-K、ISO-F、CF等多种标准类型,适配不同管径与压力需求:
ISO-K 中环(Centering Ring)
材质组合:不锈钢内环 + 铝外环,密封材料为FPM弹性体
规格覆盖:DN63至DN250,符合ISO 1609、DIN 28404和Pneurop 6606标准
泄漏率:< 1 × 10⁻⁹ mbar·L/s,确保高真空系统的气密性
应用场景:常用于大直径真空管道对中与密封,支持快速拆装
大型铝质中环(DN320–DN1000)
材质:全铝6082,减轻系统重量,适合大型真空腔体
密封材料:CR/FPM,具备良好耐温与抗老化性能
特点:价格竞争力强,物流支持,适用于高真空与超高真空系统
CF接头与铜垫片(ISO-CF)
适用标准:ISO 3669 / TS/ISO 3669-2
工作压强可低至1 × 10⁻¹² mbar,烘烤温度高达400°C
配套铜垫片(OFHC铜)用于金属密封,确保长期稳定性与可重复使用性
转接器与异径连接件
如ISO-K/ISO-F转接法兰、ISO-KF异径四通等,支持不同标准接口的系统集成
材质为不锈钢304或铝,满足兼容性与强度要求
保护盖与辅助组件
聚乙烯材质保护盖(如DN63至DN630),用于运输与存储过程中防止污染
波纹管、补偿器等柔性连接件,可吸收热胀冷缩应力,提升系统可靠性
应用行业与系统优势
半导体与平板显示:在CVD、PVD等工艺中保障洁净真空环境
科研与航空航天:支持恶劣条件下的实验装置连接
工业自动化:集成于真空搬运、镀膜设备中,提升生产效率
优势总结:标准化设计、低泄漏、易维护、供应链支持,符合RoHS环保要求
美国INFICON真空接头 熹光发布
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